CSIG技术发明奖授予在我国图像图形领域基础研究和应用基础研究中阐明自然现象、特征和规律，做出重大科学发现的个人和团队。

为宣传科技工作者积极进取的工作精神，聚焦获奖团队背后的故事，学会近日对荣获2024年度CSIG技术发明奖二等奖“基于运动调制的高精度光学成像测量微系统”的项目团队进行了专访，以对话的形式，为读者们提供一次了解他们的机会。

下面就跟着我们的脚步，走近今天的受访团队吧。

问题一：首先非常感谢各位老师接受我们的采访，请先介绍一下团队成员：

团队成员来自清华大学、启元实验室与中科亿海微电子科技有限公司。项目团队依托清华大学尤政院士领导的智能微系统团队，开展了空间光学成像测量微系统、遥感载荷、MEMS器件等工作，提出光学成像测量精度极限实现方法，国际上首次揭示了高精度运动调制蕴含的精度潜能，并依托启元国家实验室建设一流微纳系统设计-加工-测试平台，开展了多种MEMS器件研发工作，获国家技术发明奖3项，进步奖2项，以及“国家卓越工程师团队”称号。

问题二：了解完了团队内的各位老师，请为大家简单的介绍一下项目的情况：

光学成像测量仪器凭借其直观性好、测量范围大、测量精度高等优势，在天文观测、航天导航、微纳显微、精密遥感、先进制造等诸多领域发挥着不可替代的作用，具有十分深远的科学前景和重要的经济社会价值。现有的光学成像测量系统多为静态系统，其探测精度受到光学系统 PSF 和探测器像素尺寸的约束。项目团队提出了完备的运动调制式光学成像精密测量基础理论与方法，突破微米级像素尺寸对精度的物理限制，将微米级像素分辨细化为MEMS纳米级运动调制，解决了固定式探测器像素内的非线性测量难题，实现毫像素级点目标定心，为甚高精度光学成像测量开辟一条新途径。

项目所提出的复眼太阳敏已应用于中国航天科工二院二十五所某型号任务，恒星-卫星导航微系统应用于航天东方红、中科院空间中心、上海微小、银河航天、长光卫星等公司的卫星和北京控制与电子技术研究所的飞行器中，研制的光学融合感知式导航定位微系统已应用于中航通飞的通用飞机、中国航天科工三院三十三所的无人系统及集群导航系统中，实现了飞机、卫星等多类飞行器的微型化、高精度光学定姿与定位。

项目团队累积发表论文 90 余篇，在 Web of Science 中被引用 2473 次，其中他引 2030 次，出版学术专著 1 部，发表专利 30 项，其中 14 项专利完成转化，收入逾3000 万元，产品研制等产生经济效益超过 10 亿元，并在国内外形成了技术品牌，创造了显著的经济和社会效益。

问题三：请问各位老师在科研过程中，有没有什么好的方法可以推荐给大家？

1. 在面对科研难题时，要保持热情与专注，不能轻易放弃。

2. 多阅读领域前沿文献，了解领域进展，站在巨人的肩膀上，少走弯路

3. 实验设计要科学合理，有目的性，做有信息量的实验来验证猜想与假设

问题四：在项目的研究过程中有遇到什么困难吗？大家是如何解决的？

在项目研究中常常会遇到许多困难，例如在前期样机加工过程中出现再布线层失效问题，导致图像传感器信号无法正确读出，无法实现光学成像测量功能。针对这一问题，项目团队开展攻关，提出多项失效假设并逐一验证，综合利用光学显微表征、SEM表征与FIB截面分析等方法，定位再布线层失效原因，并通过优化介质层沉积工艺，设计阻焊层等方式，提高再布线层质量，最终实现图像传感器信号的高质量读出。

问题五：最后，大家有什么获奖感言想说呢？

非常荣幸获得2024年度拉斯维加斯手机娱乐网站 技术发明奖二等奖，这是整个项目团队长期以来不懈努力，坚持研究的结果。科技探索永无止境，团队成员今后也将继续努力，弘扬科学精神，聚焦自主创新，为国家实现高水平科技自立自强、发展新质生产力贡献自己的力量。